2013年10月12日，為了推動我國科學儀器與設備技術自主創新研發與應用，浙江中科院應用技術研究院和嘉興科民電子設備有限公司聯合資助成立科民公益基金，成立儀式在浙江中科院應用技術研究院嘉興微電子儀器與設備工程中心圓滿召開。新華社、中央電視臺、人民日報、光明日報、經濟日報、科技日報、中國科技報、中國青年報、瞭望周刊等多家主流媒體在“走進中科院”系列活動中對嘉興中心及該公益基金進行報道。該基金目前主要資助國內高級研究人員全程免費進行ALD應用研究及其他公益科技活動。對全國高等院校、研究機關和企事業單位的高級研究人員無償開放，在該實驗室制訂的相關范圍內提出課題申請，經基金學術委員會審議批準后到該實驗室工作，也可以參加實驗室現在課題的合作研究?？泼窆婊鸬某闪?，有效解決了部分科研工作者資金不足，缺乏實驗設備的相關困難。幫助與本研究方向有關的課題實驗的順利進行。