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科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學模式創新
[薦]

科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學模式創新

  • 分類:新聞中心
  • 發布時間:2022-03-25
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【概要描述】科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學模式創新

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【概要描述】科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學模式創新

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  • 發布時間:2022-03-25
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科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學模式創新

3月24日,我司參加“國科雁棲科創沙龍”高端科學儀器國產化暨研產用實踐路徑研討會,并做題為“集成電路教學創新模式”的報告。

          報告中詳細介紹了我司研發生產的國際首創集成電路科教融合全套裝備主要包括:曝光機、高密度等離子體刻蝕機、反應離子刻蝕機、磁控濺射、原子層沉積、等離子體氣相沉積等設備,具有安全可靠、可操作性強、低成本、易維護等特點,可實現從光刻到薄膜沉積的工藝教學與開發。

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