晶科能源首席科學家王琪來科民電子參觀指導
- 分類:公司新聞
- 發布時間:2022-10-08
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【概要描述】9月6日上午,晶科能源首席科學家王琪來嘉興科民電子參觀指導,微電子設備與儀器工程中心展廳、納米薄膜技術重點實驗室、國家發改委“雙創”支撐平臺項目——面向新一代半導體薄膜材料制備技術的裝備與器件技術服務公共平臺、集成電路產教融合創新平臺。
晶科能源首席科學家王琪來科民電子參觀指導
【概要描述】9月6日上午,晶科能源首席科學家王琪來嘉興科民電子參觀指導,微電子設備與儀器工程中心展廳、納米薄膜技術重點實驗室、國家發改委“雙創”支撐平臺項目——面向新一代半導體薄膜材料制備技術的裝備與器件技術服務公共平臺、集成電路產教融合創新平臺。
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9月6日上午,晶科能源首席科學家王琪來嘉興科民電子參觀指導,微電子設備與儀器工程中心展廳、納米薄膜技術重點實驗室、國家發改委“雙創”支撐平臺項目——面向新一代半導體薄膜材料制備技術的裝備與器件技術服務公共平臺、集成電路產教融合創新平臺。
科民電子負責人夏洋老師向王琪介紹了工程中心和公司人才團隊引進和培育情況、團隊主要研究領域、長三角雙創示范基地聯盟集成電路專業委員會運行情況及“雙創”支撐平臺建設情況。工程中心和科民電子公司研發部負責人名帥強、市場部負責人郭耀亮就主導產品原子層沉積(ALD)系統、物理氣相沉積(PVD )系統、反應離子刻蝕(RIE)系統等的研發生產情況、核心競爭力、應用場景、市場占有率等進行詳細講解。
晶科能源首席科學家王琪表示,ALD是革命性的技術,在太陽能電池組件方便具有不可替代的作用,雙方可發揮各自優勢,進行深度合作。
嘉興科民電子設備技術有限公司是中國科學院微電子研究所在嘉孵化的高端裝備制造企業,主要從事原子層沉積(ALD)設備、集束型薄膜沉積系統(Cluster System)、紫外 LED 光刻機(Lithography)、反應離子刻蝕機(RIE)等高端半導體設備的研發和生產。公司所研發的集成電路高端裝備應用于尖端科技,助力客戶進行高尖端科學研究,客戶包括清華大學、北京大學、復旦大學、中科院半導體研究所等國內科研單位。
產品成功通過大型微電子、MEMS 制造企業產線驗證,成功應用于高新產業,成為國內知名企業主力產品線ALD 工序唯一設備供應商,是國內首個進入大批量制造產業化市場的原子層沉積機型,打破了進口設備在產業化市場壟斷地位,成功應用到中芯國際、杭州士蘭微、北方夜視,協鑫納米等企業。
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